Dubbelaxlig marmor linjärmotormodul

Byggd på en 00-gradig granitbas (vald för dess låga värmeutvidgningskoefficient och vibrationsdämpande egenskaper), integrerar denna dubbelaxliga linjärmotormodul i marmor två högpresterande linjära motoraxlar med luftbärande styrningar för att leverera ±0,5 μm repetitionsnoggrannhet - idealisk för halvledarlitografi, lasermetinologi och lasermetinologisystem, och laserteknik.

Designad för att hantera begränsningarna hos aluminium- eller stålbaserade tvåaxliga steg (termisk drift, vibrationer, låg styvhet), vår dubbelaxliga linjärmotormodul i marmor eliminerar mekanisk deformation under höghastighetsrörelse (upp till 2m/s per axel) och bibehåller konsekvent precision över driftstemperaturer (-10℃ till 40). X-Y-axelns synkrona styrsystem (EtherCAT-baserat) möjliggör rörelsesynkronisering på nanometernivå, avgörande för ultraprecisionsprocesser som 7nm chipförpackning, mikrooptisk komponenttillverkning och avancerad 3D-mätning.

Tillverkad enligt ISO 9001:2015 och ISO 10110 optiska kvalitetsstandarder, har den dubbelaxliga linjärmotormodulen i marmor ett förseglat kabelhanteringssystem, antistatisk beläggning och vakuumkompatibla alternativ (för användning i halvledarrenrum). Kompatibel med branschledande rörelsekontroller (Aerotech, PI, Newport) och mätsystem (Renishaw laserinterferometrar), integreras sömlöst i ultraprecisions tillverkningslinjer, vilket förbättrar processutbytet med upp till 20 % jämfört med konventionella metallbaserade tvåaxliga steg.

Produktserie

DT-GM-DX1-serien (kompakt precision)

X-Y rörelseområde: 100×100 mm till 500×500 mm, ±0,5 μm upprepningsnoggrannhet, 1m/s maxhastighet per axel. Idealisk för mikro-optisk komponentbearbetning, precisionsmätning, halvledarförpackning i små format.

DT-GM-DX2-serien (höghastighet i mellanklass)

X-Y rörelseområde: 500×500 mm till 1000×1000 mm, ±1μm upprepningsnoggrannhet, 2m/s maxhastighet per axel. Lämplig för lasermikrobearbetning, reparation av LCD-paneler, optisk inspektion i mellanformat.

DT-GM-DX-VAC-serien (vakuumkompatibel)

X-Y rörelseområde: 100×100 mm till 800×800 mm, ±0,5 μm upprepningsnoggrannhet, vakuumklass 10⁻⁶ mbar. Designad för halvledarrenrumstillämpningar, vakuumbeläggning och rymdsimuleringssystem.

Kärnfördelar

1. 00-Grade Granit Base för oöverträffad stabilitet

Tillverkad av naturlig 00-gradig granit (termisk expansionskoefficient ≤0,5×10⁻⁶/℃), ger basen exceptionell termisk stabilitet (≤0,001 mm/℃) och vibrationsdämpning (dämpar 80 % av högfrekventa vibrationer). Detta eliminerar termisk drift och mekanisk resonans - vanliga problem med metallbaserade steg - i ultraprecisions tillverkningsprocesser.

2. Sub-Micron Precision med luftbärande styrningar

Integrerade luftbärande linjära styrningar (istället för traditionella kullager) eliminerar friktion och slitage, vilket uppnår ±0,5 μm repeterad positioneringsnoggrannhet och 1 nm upplösning (via Renishaw absolutkodare). Den beröringsfria designen säkerställer underhållsfri drift över 100 miljoner cykler, avgörande för högvolyms ultraprecisionsproduktion.

3. X-Y Axis Synchronous Motion Control

EtherCAT-baserad rörelsekontroll i realtid möjliggör synkronisering på nanometernivå mellan X- och Y-axlar (synkroniseringsfel ≤50nm), vilket stöder komplexa rörelseprofiler (cirkulär interpolation, spiralskanning) som krävs för lasermikrobearbetning och optisk mönstring. Den öppna arkitekturen är kompatibel med rörelsemjukvara från tredje part (LabVIEW, MATLAB).

4. Hög styvhet & låg deformation

Förstärkt granitstruktur med integrerade ribbor ger en styvhet på ≥300N/μm, vilket minimerar nedböjning under dynamiska belastningar (upp till 50 kg per axel). Denna stabilitet säkerställer konsekvent precision även under höghastighetsacceleration (1g), vilket minskar processvariation och förbättrar produktutbytet.

5. Anpassningsbar för ultraprecisionsapplikationer

Full anpassning av rörelseområdet (100×100 mm till 1000×1000 mm), kodarupplösning (1nm till 1μm), vakuumkompatibilitet (10⁻³ till 10⁻⁶ mbar) och ytfinish (Ra ≤0,02μm). Valfria funktioner inkluderar antistatisk beläggning, renrumskompatibla material och integrerad laserinterferometri för in-situ kalibrering.

6. Industriell tillförlitlighet för renrumsanvändning

IP67 skyddsklass (standard) / IP68 (vakuumversion), antistatisk beläggning (10⁶-10⁹ Ω/sq) och låg partikelemission (klass 1 renrumskompatibel) gör den lämplig för halvledarfabriker och renrum för optisk tillverkning. MTBF ≥40 000 timmar under kontinuerlig drift, vilket minskar den totala ägandekostnaden (TCO) med 30 % under 5 år.

Tekniska specifikationer

Granitbas (00 Grade)±0,5μm Upprepad positioneringsnoggrannhetX-Y-axel Synchronous Motion Termisk stabilitet (≤0,001mm/℃)Hög styvhet (≥300N/μm)

Applikationsscenarier

Deaotes linjärmotormoduler i marmor med dubbla axlar är konstruerade för ultraprecisionstillverkning inom globala högteknologiska sektorer:

● Halvledare och mikroelektronik: 7nm/5nm chipförpackning, waferinspektion, litografisk inriktning, MEMS-enhetstillverkning

● Optisk tillverkning: Mikrooptisk komponentbearbetning (linser, prismor), fiberoptisk arraymontering, lasermönstring av glassubstrat

● Precisionsmätning: optisk 3D-mätning, koordinatmätmaskiner (CMM) rörelsesteg, ytprofilering på nanometernivå

● Lasermikrobearbetning: Laserablation, mikroborrning, precisionsgravering av hårda material (kisel, safir, keramik)

● Flyg och försvar: Tillverkning av mikrosensorer, kalibrering av tröghetsnavigeringskomponenter, montering av optiskt satellitsystem

Om Deaote

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. är ett ledande högteknologiskt företag som specialiserat sig på FoU, tillverkning och försäljning av ultraprecisionsrörelsekomponenter – med fokus på granitbaserade linjärmotormoduler för globala halvledar-, optiska- och flygmarknader. Med över 15 års expertis inom precisionsformning och design av ultraprecisionsrörelser, betjänar vi kunder över hela Europa, Nordamerika, Japan och Korea i avancerade tillverkningssektorer.

Våra linjärmotormoduler i marmor med dubbla axlar är utvecklade i vårt dedikerade forsknings- och utvecklingslaboratorium med ultraprecision, och utnyttjar avancerad granitbearbetning (±0,001 mm tolerans), laserkalibrering och luftbärande monteringstekniker för att uppnå submikrons noggrannhet. Vi tillhandahåller kompletta anpassningstjänster – från moduldesign och prototyper till kalibrering på plats och global teknisk support – vilket säkerställer att våra lösningar uppfyller de unika kraven för ultraprecisionstillverkningslinjer.

Deaote är engagerad i "Precision på nanometernivå, stabilitet under en livstid", och investerar 20 % av årliga intäkter i FoU för att utveckla nästa generations ultraprecisionslösningar för rörelser. Vår ISO 9001:2015 och ISO 10110 certifierade produktionsanläggning och globala servicenätverk säkerställer snabba svarstider (≤48 timmar) och lokal teknisk support, vilket gör oss till en pålitlig partner för tillverkare av avancerad ultraprecisionsutrustning över hela världen.